半導(dǎo)體器件、晶圓廠潔凈車間建設(shè)方案簡(jiǎn)要：

      半導(dǎo)體器件晶圓的生產(chǎn)過(guò)程中，易受外來(lái)物、灰塵粒子、金屬離子等外來(lái)物的影響而破壞表面結(jié)構(gòu)，這種產(chǎn)品特性也決定了其制造過(guò)程中必須有潔凈度的要求。同時(shí)，在半導(dǎo)體晶圓的測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試間也必須置于潔凈室中，潔凈度的控制也同樣重要，潔凈車間的潔凈度控制不好，會(huì)導(dǎo)致空氣中的含塵量過(guò)高，從而導(dǎo)致外來(lái)物的增加，進(jìn)而影響到測(cè)試的準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性，嚴(yán)重還會(huì)導(dǎo)致探針測(cè)試卡的損壞。

      潔凈車間最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。在晶圓車間中，為了解決晶圓測(cè)試中良率不佳、測(cè)試結(jié)果不穩(wěn)定，探針測(cè)試卡的損毀及晶圓的報(bào)廢這些問(wèn)題，潔凈室及輔助室的設(shè)計(jì)就該是廠區(qū)建設(shè)的首要任務(wù)之一，且嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行《硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》、《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》等規(guī)范。

      晶圓車間對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜。合潔科技凈化工程公司的設(shè)計(jì)師常規(guī)也會(huì)采用FAB布局設(shè)計(jì)，比如從Fab建筑布局的豎向布置、平面布置、底層柱網(wǎng)的確定、SB支持區(qū)的布置、新風(fēng)機(jī)房的布置、建筑消防、火災(zāi)危險(xiǎn)性分類的確定、防火分區(qū)設(shè)計(jì)、防泄爆設(shè)計(jì)、專用消防口的設(shè)置等等。
       大多數(shù)FAB工廠都是四層結(jié)構(gòu)，從上至下分別為：上技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層，潔凈下技術(shù)夾層和非潔凈下技術(shù)夾層。

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      潔凈車間工程示例如下：