集成電路凈化工程設計案例：一般要采用FFU凈化系統(tǒng)因為具有靈活性，可適應工藝變化，當工藝發(fā)展需要提高空氣潔凈度級別時，采取增加FFU數(shù)量或更換更高效率的過濾器就可達到提高潔凈度等級的目的。FFU采用負壓密封使其簡化而可靠，也就是說，潔凈區(qū)內的空氣壓力大于送風靜壓箱內的空氣壓力，這就極大地降低了塵埃微粒通過縫隙進入潔凈室的幾率。此外，采取這種方式也可大大節(jié)省空調機房的面積。今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下集成電路凈化工程應該怎么設計裝修吧!

　　項目背景：

　　一家電子廠計劃建設一座潔凈室用于集成電路生產(chǎn)，要求潔凈室內空氣質量高，能夠達到特定的潔凈度等級，以確保生產(chǎn)過程中的產(chǎn)品質量和穩(wěn)定性。

　　設計要求：

　　1、潔凈度等級：要求達到ISO 14644標準中的特定潔凈度等級，如ISO 7級。

　　2、空氣流量：根據(jù)潔凈室的大小和用途確定合適的空氣流量，確保空氣的循環(huán)和凈化效果。

　　3、空氣循環(huán)設計：設計合理的空氣循環(huán)系統(tǒng)，包括凈化空調系統(tǒng)、出風口、回風口、排風口和新風口的設置。

　　4、溫濕度控制：確保潔凈室內溫濕度穩(wěn)定，適合集成電路生產(chǎn)的要求。

　　5、靜電控制：考慮靜電對集成電路生產(chǎn)的影響，設計靜電控制措施，如地板材料選擇、靜電消除設備等。

　　6、設備維護：設計易于維護和清潔的設備和設施，保證潔凈室長期穩(wěn)定運行。

　　設計方案：

　　1、空調系統(tǒng)：選擇高效的凈化空調系統(tǒng)，包括過濾器、風道、送風口和回風口，確?？諝鈨艋Ч涂諝饬鲃泳鶆颉?/span>

　　2、空氣過濾：設置多級過濾系統(tǒng)，包括初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器，以去除空氣中的顆粒物和微生物。

　　3、空氣循環(huán)：合理設置出風口、回風口、排風口和新風口，保證空氣循環(huán)和凈化效果，避免死角和死區(qū)。

　　4、溫濕度控制：安裝恒溫恒濕設備，監(jiān)控和調節(jié)潔凈室內的溫濕度，確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定。

　　5、靜電控制：選擇防靜電地板、靜電消除設備等措施，減少靜電對集成電路生產(chǎn)的影響。

　　6、 暖通工程 ：采用新風集中處理機組(MAU)+風機過濾單元(FFU)+干式冷盤管(DDC)的方式，其空氣處理過程為：循環(huán)風經(jīng)設置在一層的干式冷卻盤管冷卻后，進入上部送風靜壓箱，與處理后的新風混合，經(jīng)FFU加壓、過濾后送入生產(chǎn)區(qū)。

　　結果與效益：

　　通過以上設計方案的實施，集成電路凈化車間可以達到預期的潔凈度等級要求，確保集成電路生產(chǎn)過程中的空氣質量和生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品質量和生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)過程中的污染風險，為電子廠的生產(chǎn)提供良好的生產(chǎn)環(huán)境和條件。